爱普生拓优科梦成功研发新型绝对压力传感器

日前,水晶元器件领先厂商爱普生拓优科梦公司(Epson Toyocom Corporation)宣布已成功开发出超小型、高精度、高分辨率的绝对压力传感器XP-6000CA,并将于2010年10月开始提供样品。

XP-6000CA应用新型QMEMS技术,成功地将高精度、高分辨率与小型化合为一体。其综合压力精度为±30Pa,分辨率达到0.3Pa,同时实现了7.0×5.0×2.0t mm的小尺寸。除了高精度、高分辨率以外,XP-6000CA传感器单元还使用高稳定性的石英晶体作为原材料,因此能够在各种外部温度及环境条件下实现稳定的输出。另外,在压力测量方面,新型传感器采用基于石英晶体测量技术的频率计数方式。因此,其压力测量功能不会受到噪音的影响。

XP-6000CA的分辨率为0.3Pa。每当高度变化1cm时,气压会随之变化约0.1Pa;因此,0.3Pa的气压变化相当于3cm的高度变化,即XP-6000CA可检测出约3cm的高度变化。由于能够检测出如此细微的压力/高度变化,XP-6000CA可应用于运动测量计和个人导航设备等要求高度精确测量的移动设备。同时,也将促进工业用压力测量设备朝着更小化、更节省空间化的方向发展迈进。

作为水晶元器件领域的领导者,爱普生拓优科梦致力于通过研发高精确度、高分辨率的小型传感器推动小型压力传感器应用系统的发展。其传感器产品广泛应用于各类设备,如具有高度精确压力测量需求的生产设备、根据水压计算河水水位或大坝水位的测量仪器等。此外,爱普生拓优科梦在为移动装置研发小型石英压力传感器方面也已取得了稳健的发展,不断开发出尺寸越来越小的石英压力传感器并且丝毫不影响其精度和分辨率。
 
XP-6000CA主要特性
1. 综合压力精度:±30Pa
2. 分辨率:0.3Pa
3. 压力检测范围:30kPa-130kPa
4. 工作温度范围:-40°C~+85°C
5. 外部尺寸:7.0 x 5.0 x 2.0t mm